Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: https://evnuir.vnu.edu.ua/handle/123456789/9655
Назва: Морфометрія та механічні властивості плівок карбону, отриманих магнетронним депонуванням в атмосфері аргону
Інші назви: Morphometry and Mechanical Properties of Carbon Films Obtained by Magnetron Deposition in Aragon Atmosphere.
Автори: Коровицький, Андрій
Чосік, Даріуш
Федосов, Сергій
Качан, Юрій
Колядинський, Іван
Сахарчук, Віктор
Korovytskyy, Andrij
Chocyk, Dariush
Fedosov, Sergiy
Kachan, Yurij
Kolyadynskyy, Ivan
Saharchuck, Viktor
Бібліографічний опис: Морфометрія та механічні властивості плівок карбону, отриманих магнетроннимдепонуванням в атмосфері аргону / А. Коровицький, Д. Чосік, С. Федосов, Ю. Качан, І. Колядинський, В. Сахарчук // Науковий вісник Східноєвропейського національного університету ім. Лесі Українки. Серія : Фізичні науки / Східноєвроп. нац. ун-т ім. Лесі Українки ; [редкол.: С. А. Федосов та ін.]. – Луцьк, 2015. – № 10 (311). – С. 31-38.
Дата публікації: 2015
Дата внесення: 16-чер-2016
Видавництво: Східноєвропейський національний університет ім. Лесі Українки
Теми: магнетронне депонування
тонкі плівки карбону
шорсткість, твердість
модуль Юнґа
magnetron deposition
carbon thin films
roughness
Young's modulus
Короткий огляд (реферат): У роботі за допомогою вдосконаленої технології отримання стабільного плазмового розряду в робочій камері ВУП5М здійснено напилення тонких плівок карбону. Досліджено структуру та механічні властивості тонких плівок карбону. Установлено, що за цих технологічних умов утворюються аморфні структури карбону. Виявлено, що ці плівки карбону досить «м’якимі» й володіють добрими пружними властивостями. ; Carbon thin films have been deposited by usage of an advanced technology for stable plasma discharge in the vacuum chamber of VUP5M. The structure and mechanical properties of carbon thin films have been studied. Carbon films, formed under such technological conditions, have amorphous structure. It was found, that carbon films are very “soft” and have good elastic properties.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://evnuir.vnu.edu.ua/handle/123456789/9655
Тип вмісту: Article
Розташовується у зібраннях:Серія "Фізичні науки", 2015, № 10 (311)

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
7.pdf757,34 kBAdobe PDFПереглянути/відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.